西安理工大学 材料科学与工程学院, 西安 710048
本文采用溶胶－凝胶法制备了具有紫外感光性的SiO2/ZrO2/H有机无机复合薄膜, 利用分光式椭偏仪测得该薄膜在光纤的常用通信窗口0.85 μm、1.31 μm和1.55 μm波长附近折射率分别为1.556 9、1.548 9和1.547 2, 与下包层SiO2的折射率(1.46)相比, 其折射率差比δ分别为6.64％, 6.09％和5.97％, 可作为芯层材料用于光波导的制备.通过控制提拉速率可以制作出厚度分别为1.29, 2.20, 4.00, 5.44和6.82 μm的SiO2/ZrO2/H芯层薄膜, 以满足0, 1, 2, 3和4阶导模的传输要求.进而利用该薄膜自身的感光特性结合紫外掩模法, 制备出相应厚度的1×8Y分支光功率分配器.通光实验表明, 该光功分器能够将1.53～1.56 μm波长的光限制在波导内, 实现光的传输和分束功能.
感光溶胶-凝胶 有机无机复合 Y分支 光功率分配器 Photosensitive sol-gel Organic-inorganic composite Y-branch Optical power splitter
